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通过:管理员- 2021年4月21日
许多对前端半导体制造至关重要的部件(如静电卡盘、晶圆底座、陶瓷加热器和植入轮)会随着时间的推移而磨损。这可能会导致部件故障，而且更换部件的成本非常昂贵，无论是就新部件而言，还是就安装它们所需的停机时间而言。更新的技术现在可以使翻新现有部件成为可行的和具有成本效益的选择。
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